1、工作原理
过滤稳压器1过滤的恒压气体进入两路系统：
下喷嘴11、下气室和测量喷嘴9，工件10组成的气动测量系统；
上喷嘴2、上气室、锥杆3与出气环7之间的的环形出气间隙组成平衡气路系统。
1、过滤稳压器 2（11）、进气喷嘴 3、锥杆 4、弹簧 5、指示表6、电触点副 7、出气环 8、金属膜片 9、测量喷嘴 10、工件
测量间隙z改变时，引起下气室压力的变化，于是金属膜片8失去原来的平衡状态，使膜片位移带动锥杆3移动，使环形气隙7变化，直到上下气室的压力重新平衡为止。
测量间隙z的微小变化可以引起锥杆3较大位移，并传到指示表5，由指示表指示出工件尺寸的变化值，同时电触点副6可以发生相应的电信号。
弹簧4产生指示表的测力，使表头和锥杆3可靠地接触。
2、传感器结构
特点：
（1）工作压力pg=4×105N/m2，高压薄膜气动量仪；
（2）四对电触点副，信号灯显示状态，触点副间隙可由螺钉调节；
（3）指示表放大倍数，机械部分（100）×气动部分（10），分度值0。001mm。
（4）高压可吹净工件表面，适于加工过程的自动测量。
3、测量电路
（1）四路晶体管继电器电路；
（2）S2测量开关；
（3） Sg动触点；
（4）Sa、 Sb、 Sc、 Sd四个可调整的定触点。
上一篇：波纹管式气电传感器的工作原理
