软启动固体继电器的内部结构比普通固体继电器要复杂得多。它包括七个主要部分：
信号积分器、振荡器、电网信号取样电路、脉冲形成电路、脉宽调制器、驱动器和执行开关部分。其示意图如下图所示。积分器对控制电压信号进行线性积分，它决定软启动的时间长短。振荡器输入一个矩齿波信号给脉宽调制器。电网取样电路从电网电压中取出50Hz的脉冲信号，同时完成电网与控制电路的隔离。电压比较器对从取样电路送来的不规则信号进行比较和整形，再输出给脉宽调制器。脉宽调制器综合多路信号，输出宽度随时间变化的方波脉冲信号给驱动器。驱动器根据不同宽度的方波信号驱动执行电路，同时实现输入与输出端的隔离。执行部分完成具体的开关工作，内部包含RC吸收回路。
软启动固体继电器与负载的连接如下图所示。它与电网连通后，一般使用一个机械开关，但这时软启动固体继电器并不工作。一旦输入控制信号（一般为12V直流），软启动继电器才开始工作，它随时间从O角开始调制电网电压的导通角，逐渐到达180度，负载电压有效值相应地逐渐增大。
当导通角到达1804时，软启动过程完成，这时负载得到的是完整的正弦电压。因为负载电压是从小到大逐渐加上，所以负载上无浪涌电流产生，同时稳定了电网的电流和电压。此过程波形见下图。
1．输人控制
它有三种主要控制方法，见下图。a是关开控制，人工接入12v直流电压。b、c为逻辑电路控制。
2．-般输出电路接法
这里与普通固体继电器有一些区别。普通继电器l端和2端都能接负载，余下一端接电源。而软启动继电器1端只能接电源，2端接负载，5端接电源另一端，不能接错。为了使继电器更安全可靠工作，一般还在l端和2端之间加入一个压敏电阻，这点与普通固体继电器相同。
3．电流扩大接法
软启动固体继电器最大额定电流是40A。如果需要更大的使用电流，可以采用下图所示电路，这时前端起驱动作用的固体继电器可以小到5A。(a)是采用100A双向可控硅做扩大电流开关；(b)是采用两只单相可控硅傲扩大电流开关。
例如实际负载使用电流为20A，用普通继电器应选用40A，但是选用软启动固体继电器，则25A软启动继电器已经足够了。
4．兰相电路接法
从形式上看软启动三相三角形接法与普通继电器基本相同，但要注意输出端的顺序，l端接电源，2端接负载，不可接错。
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