由此可见，引入控制算法的超声电机驱动，电机的速度波动要远远的小于直线超声电机在不引入算法时的波动。这很好的解决了直线超声电机在运动过程中的速度稳定性问题。
2.2 定位精度测试
对一个单轴直线超声电机运动平台进行精确定位实验。此精密运动平台在脉冲宽度为3.5μs时有着比较稳定的输出特性，步进距离大约在100 nm左右。使用“连续+步进”的方式进行精度测试，连续运动至预定目标处，然后利用微小步进进行调整。英国REN-ISHAW公司的XL-80激光干涉仪系统作为本次实验的测定系统，将激光干涉仪显示数据与定位距离进行比较。实验表明，此超声电机直线运动平台的定位精度可以达到1μm。
3 结论
文中利用SOPC技术，将波形发生模块和微处理器模块以及脉冲计数模块巧妙地集成到一片FPGA内部，利用可编程逻辑的灵活性和Nios II的强大处理能力，实现了超声电机驱动控制电路的设计。采用SOPC方案进行系统设计，充分利用FPGA的可编程性，整个开发过程变得灵活方便，在不改变任何外围电路的情况下可以对系统进行软硬件升级，延长系统的寿命周期，同时大大提升了系统的性能和系统的集成度，降低了系统的开发成本，这正是相对于其他方案的优势，也符合当今科技的发展方向。
本文关键字：电机 电动机-发电机，电子知识资料 - 电动机-发电机
上一篇：一种简单的电动机缺相保护电路
