离子溅射仪操作规程

 离子溅射仪操作规程       1、插上电源。     2、将MAN VALVE扭到OPEN位置。     3、挪开样品室罩，放入旁边胶垫上。     4、装入样本。     5、放回样品室罩，并打开主机电源，抽真空。READY灯亮。     6、设置溅射时间。     7、VACUUM到0.05Torr(or 7pa)按下DISCHARGE，并调节VACUUM ADJUST按钮调节溅射电流。     8、电流自动回到“0”。关掉主机电源，挪走样品室罩，取出样品。     9、挪回样品室罩，打开POWER，把VACUUM ADJUST调到HIGH，等VACUUM变为10－13pa左右，关掉MAIN VALVE为“CLOSE”即可将POWER调到OFF。     10、关闭总电源，方可结束。

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