色谱阵列型结构。色谱分离柱柱内无其他填充物，称之为开管色谱分离柱。在开管色谱分离柱中，固定相涂覆在管柱内壁，而在填充式色谱分离柱中，固定相附着在一些微粒上面，而这些微粒被填充进分离柱内。与开管色谱分离柱相比，填充式色谱分离柱可以提供更大的固定相吸附气体组分的面积，但与此同时却以增加色谱分离柱管内压降和存在涡流扩散效应为代价。
综合开管色谱分离柱和填充式色谱分离柱的各自优点，发明了一种半填充式微柱阵列微型色谱分离柱的结构。性能测试实验表明，该半填充式色谱分离柱柱内载气流速更均匀，传质距离更短，可大大降低色谱分离峰的半高宽，增加探测极限。由于硅基片与Pyrex玻璃的热应力不匹配，易导致交界面密封性降低。而LIGA工艺制作的镍质色谱分离柱整个由金属镍构成，适合工作在程序温度控制模式，通过温度的线性增加，既能提高色谱分离柱的分辨率，又缩短了分析时间。微型色谱分离柱是近年来快速发展的新生事物，作为微型气相色谱系统的核心组件之一，色谱分离柱的微型化吸引了许多研究者。
其主要优点是组分分离速率高、功耗低、便携性好，但微型化也不可避免地带来组分分辨率低的缺点。但可以预见，随着研究的深入和相关技术的发展，在微型化、分辨率和分离时间等方面的优势将会越来越明显，MEMS微型色谱分离柱不仅会在实验室得到广泛的应用，在现场检测分析、大规模制备色谱等领域也具有极大的潜力。
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