光波导器件及集成技术

　　集成光子学（PLO）和集成光 电子 学（OEIC）是指将若干光子或电子器件集成在同一基片上。这些元件包括分束器、 光栅 、 耦合器 、偏振器、干涉仪、 光源 、探测器及其相应的驱动 电路 等。这些集成器件也可以做为模块应用在通信系统、CATV、 仪器 和 传感器 等的制作上。其中用于连接这些器件的光波导就像 集成电路 中的金属连线一样，起着举足轻重的作用。它不仅具有导波的作用，还可以对光信号进行耦合、转换、分束、复用、解复用等。对于光波导及光波导元件的理论分析论著有很多[1～3]，本章从实际应用的角度出发，仅对其基本理论要点进行简单介绍，着重对器件尤其是OEIC中最常用的SOl光波导器件的设计和制作进行较详细的分析，并揭示其内在联系。

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