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超精密加工技术
【作 者】：庞滔，郭大春，庞楠编
【出版项】：国防工业出版社 / 2000.8
【内容简介】 全面系统介绍超精密加工技术，如超精密加工基础、超精密切削、磨削、研磨抛光、特种加工以及金属、硬脆非金属和半导体基片的超精密加工。
