高端制造装备关键技术的科学问题

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高端制造装备关键技术的科学问题
杨叔子, 丁汉, 李斌
( 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室, 湖北武汉430074)
摘􀀁 要: 分析了高端制造装备的国家重大需求和面临的发展机遇, 讨论了现阶段高端数控机床
和极大规模集成电路制造装备研发的主要任务, 通过分析这两类高端制造装备的研究现状与
发展趋势, 总结出了高性能运动控制、高速高精度驱动、装备与工艺动态交互作用、精密加工的
环境控制四方面的关键科学问题。
关键词: 高端制造装备; 高端数控机床; 大规模集成电路制造装备; 发展趋势; 科学问题