样品在经过脉冲激光退火之后，电导率有下降的趋势。层电导率峰值下降，明部分砷离子被激活，晶格损伤也在定程度上有所恢蔓。栽流户浓坟随让，率的变化上，也可以看到退火的效果，载流子浓度峰值下降。
为了验证实骀测遣的准确秤役。我们付样品2退火后的霍尔系数测量进行了重复实验，其电导率迁移率曲线4.在测量得到曲线3几天之后接连进行了两次测量，分别得到曲线1这条曲线在峰1和峰3处重合得都很好，峰位和峰值趋势相同，只在峰2位置稍有移动。可，测量的重复性还是比较好的，准确度也比较高。这也证明了利用变磁场霍尔测量进行电学性质的分析是可靠的。
格位置，逃逸出来，或者成为填隙原子；2由尹缺陷的存在，使蹄原子跑出晶格，悬挂在位错或亚晶界这两点都会造成载流浓度的，加3激光退火激活注入的离子。进入晶格结构。使载流子浓度减少4激光退火实骑是在空气中进行的，可能会带来某些不确定的变化。另外，所用激光能量可能还不够理想，有关激光能量与退火效果的关系。我们将在3；外篇文章介绍，5结论通过激光退火对砷注入碲镉汞样品电学性质的作用，分析电导率及载流子浓度的变化，认为选择合适的脉冲激光能量脉冲数量，可以使激光迟火在定程投上消除辐射损伤，激活注离6起到热退火的作用。
1离子注入原理和技术。北京辐射中心北京师范大学。低能核物理研宄所离子注入研宄室。北京大学出版社。122李向阳。山东大学博士论文。碲镉汞，型光伏列阵器件的研究19 4胡燮荣。吴晓光。胡之涵等。人脉冲激光作用下碲镅的损伤，上海第十届全国红外科学技术交流会论文集1996108
本文关键字：激光 变频器基础，变频技术 - 变频器基础
上一篇：夜景的照明亮度标准研究
