摘 要 消除大型滚珠丝杠由于热胀冷缩现象产生的误差。利用KEYENCE LB-70系列激光位移传感器实时检测滚珠丝杠的热胀冷缩变化量,将补偿值反馈给PLC,通过补偿将这一变化量计算在内,从而实现滚珠丝杠的零误差,不影响产品精度。
关键词 大型丝杠 热胀冷缩 误差消除
中图分类号 TG502.15 文献标识码 B
在很多大型、高精度自动化机械中,大量使用滚珠丝杠配合线性导轨的移动载台或机构(图1),而大型滚珠丝杠存在的热胀冷缩,有可能达到200μm以上的误差。这对于类似TFF-LCD产业,以及精密半导体制造产业是不能接受的,特别是在以影像系统自动定位的机台由冷机到热机转换过程中,由热胀冷缩现象产生的误差所造成的错位、偏移等将严重影响产品精度与品质。
利用KEYENCE LB-70系列激光位移传感器实时检测滚珠丝杠的热胀冷缩变化量,将补偿值反馈给PLC,通过补偿计算将这一变化量计算在内,从而实现滚珠丝杠的零误差。
一、滚珠丝杠热胀冷缩量分析
对于较大型的滚珠丝杠都考虑了热胀冷缩问题,例如THK、CKD等系列丝杠,一般采用一端固定(连接马达一端),另一端可以伸缩的方式。因此,移动载台在丝杠靠近马达的近端与远端所受的影响也就不一样。近端累积的变化量较小,对产品的精度影响也较小,而远端由于累积了整个丝杠的膨胀变化量,故对产品精度的影响很大(图2)。
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